单晶和多晶少子寿命测试设备
用于非接触和非破坏的少子寿命测试
符合半导体行业标准SEMI PV9-1110
|硅|化合物合半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层
[ CdTe | InP | ZnS | SiC | GaAs | GaN | Ge ]
产品特性
灵敏度: 对外延层监控和不可见缺陷的检测，具有可视化测试
的最高分辨率
寿命测试范围: 20 ns到几十ms
测试能力: 从切割的晶圆片到所有工艺中的样品
可靠性: 模块化紧凑型台式检测设备，正常运行时间> 99%
重复性: > 99.5%
灵活性: 适用于晶片和晶块，高度可进行调整
辅助功能: 基于IP的系统，允许在任何地方进行远程操作和技术支持
