材料3D实时动态显微镜 

Digital Holographic Microscopy (DHM) generates, in real-time, high resolution 3D digital images of a sample using the principle of holography. DHM R1000 series Cost-effective sub-nanometer resolution in real-time. 

仪器简介 

瑞士Lyncee tec公司的材料3D实时动态显微镜DHM R1000 “DHM（Digital Holographic Microscopy）主要应用是在MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比，在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为200nm～300nm（取决于物镜）。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm，可以15帧/秒的速度进行测量。因此，1cm见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。此外产品最大可将观察速度扩展至1万帧/秒。由于摄影速度快，因此不需减震台，可用来检测流水线上的产品。 

照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“Koala Software”。 

主要特点:           

• 非接触式3D成像 
• 可进行相位测量
• 自动相干补偿
• 高分辨、实时测量 

技术规格   

系统

• 测量技术：         单波长透射式数字全息显微镜
• 成像类型：         强度及定量相差 (DHM模式)
• 光 源：             单波长激光
• 样品台：           手动或自动XYZ平台, 行程200mm××100mm×15mm
• 相 机：            1392×1040像素, 8bits
• 有效物镜：       标准显微物镜, 长工作距离物镜, 油镜或水镜 

性能

• 纵向分辨率：     10nm
• 垂直测量范围：  可达340nm (取决于样品)
• 横向分辨率：     300nm (1.4NA)
• 视场范围：        4.4mm
• 工作距离：        0.3~18mm
• 数字聚焦范围：  达到50倍场深
• 抓图时间：         小于1us
• 空间采样：         1024×1024像素
• 采样速率：         15fps (1024×1024像素)
• 单波长重建速率：15fps (512×512像素), 4fs(1024×1024像素)
• 样品照明：         小于1uW/cm2
• 最大样品尺寸：   200mm×200mm 

电源要求

• 输入电压：        85-260VAC, 50/60Hz
• 功率：              480W 

重量&尺寸

• 显微镜部分：     500×500×500mm&34.5kg