Jandel公司提供的RM300测试单元结合可调节高度支架探头,可为各种各样的测量提供解决方案.
这种组合方式是目前jandel公司最受欢迎的产品.
该系统可用于测量各种薄层的小尺寸样本以及直径300mm高250mm的晶圆锭 (检测厚样品之前要咨询)。
可测晶片直径
D≤250mm，（可选配D≤300mm，无需付费）
可测晶片厚度
H≤250mm,(可更厚，请咨询)
微动开关
防止探针不与样品接触时的电流流动
手动控制
探针接触和移动的简单杠杆操作
装配简单
RM300和四探针探头通过单线连接
系统配置
组成部件：
1. 测试台——一个
2. 可调节高度主机——一台
3. 可调节高度轴杆——一根
4. 四探针探头——一个
5. 连接电缆——一根
设备尺寸：
可调节高度测试台： W×L×H（mm）250×290×8（320×370×8，可选）
可调节高度探头组件：W×L×H（mm）60×280×80（60×330×80，可选）
可调节高度的轴杆:D（mm）19；L（mm）200（可定制最高高度到1000mm）
型号
针尖角（u）
压力（g）
间距（mm）
A
40
100
1
B
C
200
D
500
70
E
1.591
F
0.635
G
H
A-D型号和E-H型号
