光伏测试专用美国ResMap四点探针

光伏测试专用美国ResMap四点探针

CDE ResMap的特点如简述如下: * 高速稳定及专利自动决定范围量测与
传送,THROUGHPUT高 * 数字方式及每点高达4000笔数据搜集,表现良
好重复性及再现性 * Windows 操作接口及软件操作简单 * 新制程表现佳
(铜制程低电阻率1.67mΩ-cm及Implant高电阻2KΩ/□以上,皆可达成高精
确度及重复性) * 体积小,占无尘室面积少 * 校正简单,且校正周期长 * 可配
合客户需求,增强功能与适用性 * 300mm 机种可以装2~4个量测头,并且
可以Recipe设定更换

CDE　ResMap–CDE　公司生产之电阻值测试系统是以四探针的工艺，以配合各半导体成光伏生产厂家进出之生产品质监控，超卓可靠又简易操作的设备是半导体及光伏生产厂家不可缺少的。

测量范围广,精度高,稳定性好,功能齐全强大,软件好用,维修成本低,服务好,配件齐全...

美国进口四探针电阻率测试仪(4PP)/方块电阻测试仪/太阳能光伏扩散薄层电阻测试仪（Four point probe(4PP)）

设备名称: 四点探针电阻仪 (CDE ResMap)
主机厂牌、型号与附件: CDE ResMap
规格:
1. Pin material: Tungsten Carbide.
2. Pin compression force Typically 100 gm to 200 gm.
3. 样品尺寸: 2吋至6吋晶圆 (表面须为平整的导电薄膜，半导体材料)
设备用途: 导电薄膜的电阻值分布测量，半导体，光伏

四探针法测量电阻率有个非常大的优点，它不需要较准；有时用其它方法测量电阻率时还用四探针法较准。
  与四探针法相比，传统的二探针法更方便些，因为它只需要操作两个探针，但是处理二探针法得到的数据却很复杂。如图一，电阻两端有两个探针接触，每个接触点既测量电阻两端的电流值，也测量了电阻两端的电压值。我们希望确定所测量的电阻器的电阻值，总电阻值：
  RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT；
  其中RW是导线电阻，RC是接触电阻，RDUT是所要测量的电阻器的电阻，显然用这种方法不能确定RDUT的值。矫正的办法就是使用四点接触法，即四探针法。如图二，电流的路径与图一中相同，但是测量电压使用的是另外两个接触点。尽管电压计测量的电压也包含了导线电压和接触电压，但由于电压计的内阻很大，通过电压计的电流非常小，因此，导线电压与接触电压可以忽略不计，测量的电压值基本上等于电阻器两端的电压值。
四探针法通过采用四探针法取代二探针法，尽管电流所走的路径是一样的，但由于消除掉了寄生压降，使得测量变得精确了。四探针法在Lord Kelvin使用之后，变得十分普及，命名为四探针法。