台阶仪
台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。
根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。电感式采用电感位移传感器作为敏感元件，测量精度高、信噪比高，但电路处理复杂；压电式的位移敏感元件为压电晶体，其灵敏度高、结构简单，但传感器低频响应不好、且容易漏电造成测量误差；光电式是利用光电元件接收透过狭缝的光通量变化来检测位移量的变化。
台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好，此外它还可以作为其它形貌测量技术的比对。但是也有其难以克服的缺点：1由于测头与测件相接触造成的测头变形和磨损，使仪器在使用一段时间后测量精度下降；2测头为了保证耐磨性和刚性而不能做得非常细小尖锐，如果测头头部曲率半径大于被测表面上微观凹坑的半径必然造成该处测量数据的偏差；3为使测头不至于很快磨损，测头的硬度一般都很高，因此不适于精密零件及软质表面的测量。
200微细形状测定机（探针接触式台阶仪）株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950
年创立的公司，也是日本第一家發表光學幹槓桿表面粗糙度計，是一家具有悠久歷史與技術背景的專業廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。
Kosaka ET200台阶仪
株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年创立，也是日本第一家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的专业厂商，主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为最具代表性单位且在日本精密测定也占有一席无法被取代的地位。
KOSAKA ET200基于 Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET200配备了各种型号探针，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色 CCD原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。
产品特点：
二次元表面解析，可测量段差
高精度、高分辨率和良好的再现性
FPD面板显示，可测定微细表面形状、段差、粗度等
低测定力，可测定软质材料
技术参数：
型号
ET200
最大样品尺寸
φ160x48mm
样品台
尺寸
φ160
倾斜度
±2°（X,Y手动）
承重
2Kg
检出器
触针力
10μN-500μN（1mg-50mg）
范围
600μm（0.1nm分辨率）
驱动
直动式（差动变压器）
触针
R2μm 顶角60°
X轴
最大测长
100mm
直线度
0.02μm/100mm
速度
0.005-20mm/s
重复性
±5μm（定位）
Y轴
25mm/手动
Z轴
50mm
放大倍数
垂直
50-2000000
水平
1-10000
监控系统
摄像装置
1/3 inch CCD
监视装置
视频捕捉板
移动方法
手动
辅助功能
教学、机动倾斜、倾斜度分析、检出器自动停止功能等
应用
成像、台阶、粗糙度、波纹度和倾斜度
1σ1nm
电源
AC90-240V 50/60Hz 300VA
外观尺寸
W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震台）
主要应用---膜厚测量
前制程机台（如曝光机、溅镀机、蚀刻机）best recipe 找寻。例如：PVD、CVD、DLC真空溅镀薄膜台阶、应力测试及软质光阻材料等薄膜台阶测量。
