扩展电阻仪 (SRP)

No.G4DC12569DE21B

SRP (Spreading Resistance Profiling) 扩展电阻测试系统是用一对专用的点接触探针，沿着样品表面以很小的增量步进，测出每一点的扩展电阻值，绘出样品的电阻、电阻率和掺杂浓度的分布曲线。利用SRP法不仅可以得到外延层的电阻率分布等电学性质，而且可以确定外延层的厚度和界面杂质的过渡区分布。

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