技术指标：
•1.XY双向程序控制扫描平台扫描范围：200mm；300mm (XY)（可选）；
•2.XY双向扫描速度：最大20mm/s；
•3.XY双向扫描平台扫描最小步进/分辨率：2 μm ；
•4.薄膜应力测量范围：5×104Pa to 4×109Pa）；
•5.薄膜应力测量分辨率：优于0.1MPa;
•6.测量精度：优于±0.1%；
•7.测量重复性：优于0.1%；
•8.平均曲率分辨率：< 2e-5 (1/m) 1-sigma (100km radius) ；
•9.平均曲率重复性：<2×10e-5 1/m；
主要特点：
