JXNR-1非接触电阻率测试仪
一、产品特点
1.非接触测量硅半导体材料的电阻率
2.适合测试硅片,不损伤样品表面。
3.采用通用PC处理数据,方便数据存储、打印
4.软件界面直观友好
5.样片校准快速、方便
二、推荐工作条件
1. 温度:23±2℃
2. 湿度:60%~70%
3. 无强光照、无强磁场、不与高频设备邻近
三、参数指标
1.整机尺寸:340mm×260mm×150mm
2.电阻率量程:0.1~50Ω﹡㎝
3.误差范围:±5%
4.硅片厚度:适合150-600um厚度